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发明名称 WAFER CARRIER WITH WAFER RETAINING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1453745(A1) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 EP20020780693 申请日期 2002.11.14
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 CHEESMAN, SHAWN;EGGUM, SHAWN, D.
分类号 B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/48 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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