| 发明名称 |
Interlayer insulating film, method for forming the same and polymer composition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1388548(A3) |
申请公布日期 |
2004.09.08 |
| 申请号 |
EP20030017767 |
申请日期 |
2003.08.04 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
AOI, NOBUO |
| 分类号 |
C08F238/02;C08F232/06;C09D4/00;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C08F238/00 |
主分类号 |
C08F238/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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