| 发明名称 | 具有驱动电路的微喷射头的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种制作具有驱动电路的微喷射头的方法，包括：提供一基板；形成一介电层于该基板上，该介电层包含一第一部位以及一第二部位；形成一驱动电路于该介电层的第一部位上，该驱动电路包含一个以上的功能元件；形成一低应力材料层于该介电层的第二部位上；蚀刻该基板与该介电层，以形成一歧管及一个以上的流体腔，且该歧管系与该流体腔相连通，以供应流体至该流体腔；形成多个气泡产生器于该低应力材料层上，且与该驱动电路相连通；以及形成一个以上的喷孔，且连通该对应的流体腔以喷出该流体。 | ||
| 申请公布号 | CN1526481A | 申请公布日期 | 2004.09.08 |
| 申请号 | CN200310123724.7 | 申请日期 | 2001.04.03 |
| 申请人 | 明基电通股份有限公司 | 发明人 | 陈志清;黄宗伟 |
| 分类号 | B05B1/02;B05B1/14;B05B1/24;B41J2/05;B41J2/16 | 主分类号 | B05B1/02 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种制作具有驱动电路的微喷射头的方法，其包括：提供一基板；形成一介电层于该基板上，该介电层包含一第一部位以及一第二部位；形成一驱动电路于该介电层的第一部位上，该驱动电路包含一个以上的功能元件；形成一低应力材料层于该介电层的第二部位上；蚀刻该基板与该介电层，以形成一歧管及一个以上的流体腔，且该歧管系与该流体腔相连通，以供应流体至该流体腔；形成多个气泡产生器于该低应力材料层上，且与该驱动电路相连通；以及形成一个以上的喷孔，且连通该对应的流体腔以喷出该流体。 | ||
| 地址 | 台湾省桃园县 | ||