| 发明名称 |
IMPROVED MEGASONIC CLEANING EFFICIENCY USING AUTO- TUNING OF AN RF GENERATOR AT CONSTANT MAXIMUM EFFICIENCY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003299889(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.06 |
| 申请号 |
AU20030299889 |
申请日期 |
2003.12.23 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
THOMAS, W. ANDERSON;JOHN BOYD;ANDRAS KUTHI;WILLIAM THIE;MICHAEL, G.R. SMITH;ROBERT KNOP |
| 分类号 |
B06B1/02;B08B3/10;B08B3/12;H01L21/00 |
主分类号 |
B06B1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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