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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE AND HEAT TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号 KR20040077746(A) 申请公布日期 2004.09.06
申请号 KR20047011221 申请日期 2003.01.22
申请人 发明人
分类号 C23C16/458;H01L21/324;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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