发明名称
摘要
申请公布号 JP3560103(B2) 申请公布日期 2004.09.02
申请号 JP19960217839 申请日期 1996.07.30
申请人 发明人
分类号 B28D5/04;B28D5/00;B28D7/02;H01L21/304;(IPC1-7):B28D7/02 主分类号 B28D5/04
代理机构 代理人
主权项
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