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发明名称
摘要
申请公布号
JP3560103(B2)
申请公布日期
2004.09.02
申请号
JP19960217839
申请日期
1996.07.30
申请人
发明人
分类号
B28D5/04;B28D5/00;B28D7/02;H01L21/304;(IPC1-7):B28D7/02
主分类号
B28D5/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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