光检测器

摘要

在具有测辐射热计元件(11)以及基准元件(21)的红外线检测器(1)中，包含：测辐射热计薄膜(22)，与基板(10)的表面分离且被支撑于基板(10)的表面上；散热用金属膜(23)，经由绝缘膜(31)而被形成在测辐射热计薄膜(22)的基板(10)侧的表面上；以及多个金属柱(25)，与散热用金属膜(23)以及基板(10)热性连接，从而可以经由绝缘膜(31)、散热用金属膜(23)、金属柱(25)、基板侧散热用金属膜(24)有效地使由红外线所产生的受光部(22a)的热向基板(10)散热，因而可以正确地仅测定因使用环境的变化而产生的温度变化，有效地降低使用环境的温度变化的影响，并达成小型化。

主权项

一种光检测器，其特征在于，包含：第1测辐射热计膜，与基板的表面分离且被支撑于所述基板的表面上；第2测辐射热计膜，与所述基板的表面分离且通过电极插塞而被支撑于所述基板的表面上；第1金属膜，经由绝缘膜而被形成在所述第2测辐射热计膜的所述基板侧的表面上；以及多个金属柱，被配置于通过由所述电极插塞支撑所述第2测辐射热计膜而划分的所述第2测辐射热计膜与所述基板之间的空隙，与所述第1金属膜以及所述基板热性连接，所述第1测辐射热计膜与所述基板之间为被空隙空间性地分隔且被热性分离的结构，所述金属柱用于将所述第2测辐射热计膜的热向所述基板散热，所述金属柱以及所述第1金属膜被一体地形成，所述第1测辐射热计膜以及所述第2测辐射热计膜与所述基板的表面大致平行且位于大致同一平面上。