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发明名称
Sputterionenquelle
摘要
申请公布号
DE10241252(B4)
申请公布日期
2004.09.02
申请号
DE20021041252
申请日期
2002.09.06
申请人
FORSCHUNGSZENTRUM ROSSENDORF E.V.
发明人
FRIEDRICH, MANFRED;TYRROFF, HORST
分类号
H01J27/04;(IPC1-7):H01J3/04;H01J27/20;H01J37/34
主分类号
H01J27/04
代理机构
代理人
主权项
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