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发明名称 Halterung für einen Wafer
摘要
申请公布号 DE10214272(B4) 申请公布日期 2004.09.02
申请号 DE20021014272 申请日期 2002.03.28
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 SCHWALBACH, HEINZ;MANTL, SIEGFRIED;BAY, HELGA
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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