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经营范围
发明名称
电子装置以及其制造方法
摘要
本发明揭示在一含有矽与碳之绝缘膜内形成一孔。该绝缘膜具有沿其厚度方向逐渐变化的一密度或碳浓度。
申请公布号
TW200416946
申请公布日期
2004.09.01
申请号
TW092122127
申请日期
2003.08.12
申请人
松下电器产业股份有限公司;三菱电机股份有限公司
发明人
汤浅宽;佐竹哲郎;松浦正纯;后藤欣哉
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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