| 摘要 |
本发明之电浆掺杂方法为可安定地进行低浓度掺杂，系一面以气体供给装置将预定气体导入真空容器内，一面以泵进行排气，俾一边将真空容器内保持于预定压力，一边以高频电源将高频功率施加于线圈。于真空容器内产生电浆后，降低真空容器内之压力，以对载置于试料电极上之基板进行低浓度之电浆掺杂。又，于缓缓降低真空容器内之压力的同时，渐渐增加高频功率，俾对载置于试料电极上之基板进行低浓度之电浆掺杂。进而，高速地对供给于试料电极之高频功率的进行波功率Pf及反射波功率Pr进行取样，当以时间将功率差Pf–Pr积分后之值达预定值时，停止供给高频功率。 |
