多层叉合金属电容结构

摘要

一种多层叉合(Interdigitated)金属电容结构，其每一层系由两个极性不同之梳状结构金属电极彼此叉合而构成，且任两相邻层中之金属电极的梳状结构互相垂直，并藉由梳状结构边上之介层窗(Via)连接同极金属电极。其中，任两金属电极之间则为介电材料所隔开。