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发明名称 CHEMICAL RINSE COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP1451642(A1) 申请公布日期 2004.09.01
申请号 EP20020788952 申请日期 2002.11.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHAI, YUNG-BAE;CHOI, SI-MYUNG;RO, JAE-SUNG;CHOI, JUNG-SUN
分类号 C11D1/83;G03F7/42;C11D1/14;C11D1/70;C11D1/72;C11D1/722;C11D3/02;C11D3/04;C11D3/06;C11D3/08;C11D3/10;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/43;C11D10/02;C11D11/00;G03F7/16;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):C11D1/83 主分类号 C11D1/83
代理机构 代理人
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