发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TREATING EXHAUST GAS COMPRISING A FLUORINE COMPOUND AND CARBON MONOXIDE
摘要
申请公布号 EP1450936(A1) 申请公布日期 2004.09.01
申请号 EP20020788691 申请日期 2002.11.29
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 SHINOHARA, TOYOJI;MORI, YOICHI;SUZUKI, YASUHIKO;AONO, HIROSHI;SHIRAO, YUJI
分类号 B01D53/14;B01D53/62;B01D53/68;B01D53/70;B01D53/86;F23G7/06;F23J15/00;F23J15/08;(IPC1-7):B01D53/34 主分类号 B01D53/14
代理机构 代理人
主权项
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