| 发明名称 | 正型光致抗蚀剂组合物以及抗蚀图案的形成方法 | ||
| 摘要 | 一种正型光致抗蚀剂组合物，含有(A)聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)在20000以上并且2核体含量在4％以下的碱溶性酚醛清漆树脂、(B)分子量在1000以下的含酚性羟基化合物、(C)含萘醌二叠氮基化合物、以及(D)有机溶剂。根据本发明可以提供能够防止高温后烘干工序中的抗蚀图案的变形的同时能够使高温加热时的脱气量减少的正型光致抗蚀剂组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1525250A | 申请公布日期 | 2004.09.01 |
| 申请号 | CN200410005582.9 | 申请日期 | 2004.02.18 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 森尾公隆;青木知三郎;加藤哲也;中岛哲矢 |
| 分类号 | G03F7/023 | 主分类号 | G03F7/023 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，含有(A)由凝胶渗透色谱法所测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)在20000以上并且2核体含量在4％以下的碱溶性酚醛清漆树脂、(B)分子量在1000以下的含酚性羟基化合物、(C)含萘醌二叠氮基化合物、以及(D)有机溶剂。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||