| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM REINIGEN EINES AUF DER RÜCKSEITE MIT METALL VERSCHMUTZTEN WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT412043(B) |
申请公布日期 |
2004.08.26 |
| 申请号 |
AT20000001202 |
申请日期 |
2000.07.12 |
| 申请人 |
INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
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| 分类号 |
B08B3/02;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;B08B3/08;C23F1/14;C30B33/08 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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