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发明名称 Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Bauelementen
摘要
申请公布号 DE4331798(B4) 申请公布日期 2004.08.26
申请号 DE19934331798 申请日期 1993.09.18
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BENZ, GERHARD;MAREK, JIRI;WILLMANN, MARTIN;BANTIEN, FRANK;MUENZEL, HORST;LAERMER, FRANZ;OFFENBERG, MICHAEL;SCHILP, ANDREA
分类号 H01L29/84;F16C11/06;F16C23/04;F16C33/10;G01P15/08;H01L21/3063;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/64;G01D5/12;H01L21/306;B81C5/00 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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