| 发明名称 | 立式炉储片台 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种立式炉储片台，包括基座、直接驱动电机和转盘。直接驱动电机为外转子电机，安装在基座上部。转盘安装在直接驱动电机顶部。转盘包括上下两层，每层外圈固定6个片盒固定台。直接驱动电机可以带动转盘转动任一角度，旋转精度高。本实用新型充分利用立式炉炉门外净化室空间，中转存放硅片。转盘、直接驱动电机和基座均为中空结构，便于安装净化系统对硅片进行净化。 | ||
| 申请公布号 | CN2636410Y | 申请公布日期 | 2004.08.25 |
| 申请号 | CN03272536.1 | 申请日期 | 2003.06.17 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 钟华;孙妍;杨进维;陈江荣 |
| 分类号 | H01L21/324;H01L21/477;C30B33/02 | 主分类号 | H01L21/324 |
| 代理机构 | 北京连城创新专利代理有限公司 | 代理人 | 刘伍堂 |
| 主权项 | 1.一种立式炉储片台，包括基座(6)、直接驱动电机(4)和转盘(2)，其特征在于：直接驱动电机(4)安装在基座(6)上部；转盘(2)安装在直接驱动电机(4)上部，转盘(2)、直接驱动电机(4)和基座(6)均为中空结构。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||