大工件等离子体加工器

摘要

一种大工件等离子体加工器，包括具有多个单独支撑的介电窗口的真空腔体，用于把腔体外产生的射频场耦合到腔体内，以激励出等离子体。感应取得磁场的平面线圈具有多个相同电长度的部分，每部分包括与另一部分元件并联的元件。

主权项

1.一种用等离子体处理工件的装置，包括：适合于安装工件的真空腔体；把能够转变为处理工件用的等离子体的气体引进腔体中的装置；将气体转变为等离子体的装置，包括：腔体外表面上的介电窗口；通过窗口把射频场耦合到气体，使气体激励为等离子体的线圈，线圈包括：适合于与产生射频磁场的射频源连接的第一和第二端子；以及在第一和第二端子之间并联连接的多个绕组部分，在第一和第二端子之间至少有两个绕组部分在路程上具有近似相等电学长度。