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发明名称 Method for fabricating an organic thin film
摘要
申请公布号 EP1271244(B1) 申请公布日期 2004.08.25
申请号 EP20010126047 申请日期 2001.10.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SHONO, TOMOFUMI;YAMASHITA, KAZUZHIRO
分类号 B05D1/40;B05D3/06;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/16;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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