发明名称 半导体处理电极用气体喷出板
摘要 1.仰视图与俯视图对称,省略仰视图。2.左视图与右视图对称,省略左视图。
申请公布号 CN3387595D 申请公布日期 2004.08.25
申请号 CN03358730.2 申请日期 2003.09.12
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 铃木隆司
分类号 13-02 主分类号 13-02
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙淳
主权项
地址 日本东京都