| 发明名称 | 感光树脂组合物以及利用该组合物制作图案的方法和电子元件 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种感光树脂组合物，其包括：在具有通式(I)表示的重复单元(U1)的聚酰胺树脂(A)和具有通式(II)表示的重复单元(U2)的聚酰胺－酰亚胺树脂(B)中至少其中之一的感光树脂；以及在具有一个光聚不饱和键的硅烷偶联剂(C)和含有每分子至少5个光聚不饱和键的单体(d1)的光聚不饱和单体(D)中至少其中之一的光聚化合物；通式见右上式(通式中，X<SUP>1</SUP>代表具有芳香环的三价有机基团，Y<SUP>1</SUP>代表具有芳香环的二价有机基团，R<SUP>1</SUP>代表具有感光基的单价有机基团)，通式见右下式(通式中，X<SUP>2</SUP>和Y<SUP>2</SUP>代表具有芳香环的三价有机基团，R<SUP>2</SUP>代表具有感光基的单价有机基团)，使用该感光树脂组合物制备图案的方法，以及一种电子元件。 | ||
| 申请公布号 | CN1522388A | 申请公布日期 | 2004.08.18 |
| 申请号 | CN02813324.2 | 申请日期 | 2002.07.03 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 名儿耶友宏;松浦秀一;清水健博 |
| 分类号 | G03F7/038;G03F7/075;C08G73/14;C08G69/06 | 主分类号 | G03F7/038 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟晶 |
| 主权项 | 1、一种感光树脂组合物包括：在具有下列通式(I)表示的重复单元(U1)的聚酰胺树脂(A)和具有通式(II)表示的重复单元(U2)的聚酰胺-酰亚胺树脂(B)中至少其中之一的感光树脂；以及在具有一个光聚不饱和键的硅烷偶联剂(C)和含有每分子至少5个光聚不饱和键的单体(d1)的光聚不饱和单体(D)中至少其中之一的光聚化合物；通式(I)：<img file="A028133240002C1.GIF" wi="856" he="393" />(通式中，X<sup>1</sup>代表具有芳香环的三价有机基团，Y<sup>1</sup>代表具有芳香环的二价有机基团，R<sup>1</sup>代表具有感光基的单价有机基团)通式(II)：<img file="A028133240002C2.GIF" wi="871" he="365" />(通式中，X<sup>2</sup>和Y<sup>2</sup>代表具有芳香环的三价有机基团，R<sup>2</sup>代表具有感光基的单价有机基团)。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||