有源矩阵基底、显示器件和图象传感器件

摘要

提供了一种有源矩阵基底，能缩短象素电极的制造工艺、通过自对准改善曝光精度和防止象素电极之间的泄漏故障。该有源矩阵基底具有以矩阵形状放置的TFT。在透光基底上形成有栅极信号线和源极信号线。在上述线条上的栅极绝缘膜上按顺序形成半导体层、由沟道保护层左右分开的源极电极和漏极电极。由此制造TFT。然后整个基底上覆盖层间绝缘膜。在层间绝缘膜的顶上形成象素电极，它通过穿过层间绝缘膜的接触孔连接到TFT。通过在层间绝缘膜上施加包含ITO、ATO或ZnO作为透明导电颗粒的一层光敏透明树脂例如负性的聚丙烯树脂，从基底的背侧进行曝光和显影，形成象素电极。

主权项

1.一种有源矩阵基底，包括：以矩阵形状放置的开关元件；控制开关元件的栅极信号线；连接到开关元件、与栅极信号线垂直形成的源极信号线；形成在开关元件、栅极信号线和源极信号线上的层间绝缘膜；和至少形成在层间绝缘膜上、通过穿过层间绝缘膜的接触孔连接开关元件的象素电极；其中所述象素电极由包含至少一种颜料的光敏导电材料形成，使得至少一些象素电极除了作为象素电极之外还被用作滤色片。