发明名称 成膜用精密光罩及其制造方法,电激显示装置及其制造方法,电子机器
摘要 〔课题〕:本发明乃提供一种于蒸着有机EL显示装置之发光层等时,易于定位玻璃基板,且可强度十足可形成正确之蒸着图案之成膜用精密光罩。更提供一种具备将如此之成膜用精密光罩,制作出简单且确实之方法,有机EL显示装置及其制造方法,有机EL显示装置之电子机器。〔解决手段〕:本发明系于平行,以特定间隔而配置,具备形成复数第1开口部2之第1梁3,和符合于第1梁3之上之第1梁3而加以配置,形成复数第2开口部4之1或是复数第2梁5;而第1梁3与第2梁5系连结于交叉部分者。
申请公布号 TW200415245 申请公布日期 2004.08.16
申请号 TW093100818 申请日期 2004.01.13
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 四谷真一;桑原贵之
分类号 C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本