| 发明名称 | 铁电电容器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种铁电电容器及其制造方法。该铁电电容器包括顺序叠置的下电极、电介质层和上电极，其中电介质层为由顺序叠置的铁电膜形成的多层，并且相邻的铁电膜具有不同的成分或不同的成分比例。通过使用该铁电电容器，可保持铁电畴的稳定的极化状态很长的保持时间，并且由此可精确地读出很长时间以前写入铁电电容器的数据，因此，改善了铁电随机存取存储器(FRAM)的可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN1519939A | 申请公布日期 | 2004.08.11 |
| 申请号 | CN03156671.5 | 申请日期 | 2003.09.05 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 申尚旻;李容均;姜保守;卢泰元;尹钟杰 |
| 分类号 | H01L27/10;H01L21/82;G11C11/22 | 主分类号 | H01L27/10 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种铁电电容器，包括顺序叠置的下电极、电介质层和上电极，其中电介质层为由顺序叠置的铁电膜形成的多层，并且两层相邻的铁电膜具有不同的成分或不同的成份比例。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||