发明名称 激光加工设备和激光加工方法
摘要 一种激光加工设备和激光加工方法,其中来自激光振荡器10的脉冲激光束由光束分离器13分离成两束。分离的激光束由X-Y扫描仪14和16通过工作透镜17和18辐射到工件20上。另外,在工件上,激光光束在X-轴和Y-轴方向摆动。这些X-Y扫描仪同时加工多个被分离并设置在工件上的加工区。
申请公布号 CN1519075A 申请公布日期 2004.08.11
申请号 CN200310101307.2 申请日期 1998.03.20
申请人 住友重机械工业株式会社 发明人 礒圭二
分类号 B23K26/08 主分类号 B23K26/08
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 刘晓峰
主权项 1.一种激光加工设备,其包含多个X-Y扫描仪,每个X-Y扫描仪用于通过一个fθ透镜在工件表面的X轴方向和Y轴方向上摆动激光束,并通过所述多个电扫描系统对所述工件的加工区进行加工,其特征在于:从所述多个X-Y扫描仪发射出的每个激光束被辐射到单个工件的加工区表面。
地址 日本东京都