Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltungsanordnung, insbesondere mit Kondensatoranordnung, sowie integrierte Schaltungsanordnung

摘要

Erläutert wird ein Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltungsanordnung (100), die einen Kondensator (112) enthält. Eine dielektrische Schicht (160) wird mithilfe eines zweistufigen Ätzprozesses und mithilfe einer Hartmaske strukturiert. Die Hartmaske wird im Fall einer elektrisch isolierenden Hartmaske wieder entfernt. Im Fall einer elektrisch leitfähigen Hartmaske können Teile der Hartmaske in der Schaltungsanordnung (100) verbleiben. Die integrierte Schaltungsanordnung lässt sich so ohne komplizierte Reinigungsschritte herstellen. Die Qualität des Dielektrikums im Kondensator ist außerdem sehr hoch.