发明名称 |
Deposition technique for producing high quality compound semiconductor materials |
摘要 |
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申请公布号 |
GB0414607(D0) |
申请公布日期 |
2004.08.04 |
申请号 |
GB20040014607 |
申请日期 |
2004.06.30 |
申请人 |
ARIMA OPTOELECTRONIC (UK) LTD |
发明人 |
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分类号 |
C23C16/30;C23C16/44;C30B25/02;C30B25/14 |
主分类号 |
C23C16/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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