固定探针板的机构

摘要

固定探针板的机构10是探针板11及支持框12藉由复数第一锁紧构件16A被连结在各该轴心的周围。又，支持框12的外周缘部是藉由复数第二锁紧构件16B被连结固定于被固定在探针装置的保持具13。探针板11是其中心领域藉由第一锁紧构件16A被拘束，而其外周缘部未被拘束成为自由状态地藉由机构10所保持。因此，即使在高温下被热胀会朝外周缘部产生膨胀，惟可防止圆顶状地变形。