利用水蒸气做为离子植入后之阻剂剥除作业中供移除外壳、阻剂及残留物用之处理气体

摘要

水蒸气被用来做为一处理气体，以从一基板剥除阻剂材料，该基板具有一先前被用来做为离子植入遮罩之图案化阻剂层，其中该图案化阻剂层由一覆盖一主要阻剂部分之阻剂外壳所界定。广泛来说，水蒸气显现其可更有效率的剥除具有一交联阻剂外壳之阻剂材料，而不造成阻剂外壳爆开，也不会使主要阻剂被底切。因此，水蒸气提供了一种安全、有效率、且经济的处理气体，可用来剥除具有由离子植入制程所造成之阻剂外壳的阻剂材料。