电浆蚀刻制程终点侦测方法及设备

摘要

本发明提供一种用以侦测蚀刻电浆处理系统中之基板之蚀刻制程之终点之方法，包含：蚀刻该基板；测量至少一终点信号；藉由过滤该至少一终点信号而产生至少一滤过终点信号，其中该过滤包括将一SavitskyGolay滤波器应用至该至少一终点信号；以及从该至少一滤过终点信号决定该蚀刻制程之一终点。或者，本发明提供用以侦测蚀刻基板之蚀刻制程之终点之另一种方法，包含：蚀刻该基板；测量一第一终点信号；测量一第二终点信号；从该第一终点信号与该第二终点信号之一比率决定一比率信号，该比率信号包含一终点转变；藉由将一差动滤波器应用至该比率信号而从该比率信号决定一差动信号，其中该差动滤波器包含一SavitskyGolay滤波器；以及从该差动信号决定蚀刻制程之一终点。