用于在磁头制造过程中测量研磨量的装置和方法

摘要

本发明的目的是提供一种装置和方法，当进行获得预定的槽缝高度值的一个加工过程或凸面加工等时，所述装置和方法可容易地形成辅助电极等和引导电极之间的连接并可测量要求的研磨量。为了实现该目的，使用一种柔性电极延伸板，所述电极延伸板由一用于保持形成有元件部分的陶瓷杆的部分和一其中形成有分别与所述元件对应并适合于与所述元件连接的电引线的部分构成，其中这些可容易地与外部测量系统连接的电引线与元件电连接，从而可容易地从研磨加工过程中元件的特征量中获得研磨量。

主权项

1.一种用在一研磨装置中的电极延伸板，所述研磨装置在沿一个方向拉长的待研磨物体上进行研磨，其中在长度方向上形成有由至少电磁转换元件和磁电转换元件中的一种构成的多个元件，或者其中在长度方向上形成有多个所述元件和其特征依照研磨量而变化的辅助电极，通过根据元件所形成的位置向待研磨物体施加载荷并通过向待研磨物体施加细微的变形，从而进行研磨，其中，所述电极延伸板为柔性电极延伸板，该板具有可变形能力，以在根据元件所形成的位置将细微的变形施加到待研磨的物体上时不会在该细微变形方面产生影响，以及该板具有一固定待研磨物体的部分和一具有电引线的部分，所述电引线分别对应所述元件并且其端部延伸到支承待研磨物体的部分的附近。