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经营范围
发明名称
PASSIVELY ACTIVATED VALVE FOR CARRIER PURGING
摘要
申请公布号
EP1154929(A4)
申请公布日期
2004.07.28
申请号
EP19990968062
申请日期
1999.12.01
申请人
ASYST TECHNOLOGIES, INC.
发明人
FOSNIGHT, WILLIAM, J.;SHENK, JOSHUA, W.
分类号
B65G49/00;F16K51/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65B1/04
主分类号
B65G49/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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