发明名称 PASSIVELY ACTIVATED VALVE FOR CARRIER PURGING
摘要
申请公布号 EP1154929(A4) 申请公布日期 2004.07.28
申请号 EP19990968062 申请日期 1999.12.01
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 FOSNIGHT, WILLIAM, J.;SHENK, JOSHUA, W.
分类号 B65G49/00;F16K51/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65B1/04 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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