石墨纳米纤维的制造方法、电子发射源以及显示元件

摘要

本发明提供用于发射器时不发生短路、可改善制造FED时的发光点斑的石墨纳米纤维的制造方法以及利用所得石墨纳米纤维的电子发射源、显示元件。根据本发明，在形成有规定膜厚催化剂层的基板上导入碳供给气与氢气组成的混合气，在基板上形成控制膜厚的石墨纳米纤维层与非纤维层构成的石墨纳米纤维。作为催化剂，使用Fe，Co或含有这些金属的至少一种的合金，并在350～650℃成长1～60分钟，利用所得石墨纳米纤维制得电子发射源以及显示元件。

主权项

1.石墨纳米纤维的制作方法，是在形成石墨纳米纤维成长催化剂层的基板上导入原料气、采用CVD法制作石墨纳米纤维的方法，其特征在于，形成具有规定膜厚的该催化剂层，然后，在该基板的催化剂层上形成整体膜厚受到控制的石墨纳米纤维层与非纤维层构成的石墨纳米纤维。