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发明名称
VERFAHREN UND GERÄT ZUR PLASMABEARBEITUNG
摘要
申请公布号
DE69626782(T9)
申请公布日期
2004.07.22
申请号
DE19966026782T
申请日期
1996.10.10
申请人
HUGHES ELECTRONICS CORP., EL SEGUNDO;GENERAL MOTORS CORP., YPSILANTI
发明人
WEI, R.;MATOSSIAN, N.;MIKULA, PETER;CLARK, DEBORAH
分类号
H05H1/46;C23C8/36;C23C16/50;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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