| 发明名称 |
Methods of forming semiconductor mesa structures including self-aligned contact layers and related devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003301057(A8) |
申请公布日期 |
2004.07.22 |
| 申请号 |
AU20030301057 |
申请日期 |
2003.12.18 |
| 申请人 |
CREE, INC. |
发明人 |
SCOTT T. SHEPPARD;KEVIN W. HABERERN;SHEILA SHERRICK |
| 分类号 |
C30B1/00;H01L21/00;H01L33/14;H01S5/042;H01S5/22;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/323;(IPC1-7):H01L33/00;H01S5/00 |
主分类号 |
C30B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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