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发明名称
摘要
申请公布号 JP3544916(B2) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 JP20000086849 申请日期 2000.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/338;H01L27/04;H01L27/095;H01L29/812;H01P5/19;H03F3/60;H03F3/68;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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