| 发明名称 |
MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) WITH VARIABLE HIGH-RATIO AND LOW-VOLTAGE ACTUATION MICRO-CAPACITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1438728(A2) |
申请公布日期 |
2004.07.21 |
| 申请号 |
EP20020790535 |
申请日期 |
2002.10.23 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
ROBERT, PHILIPPE |
| 分类号 |
H01G5/04;H01G5/18;(IPC1-7):H01G5/00;H01G5/16 |
主分类号 |
H01G5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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