| 发明名称 |
Method and apparatus for forming a thin film of a metal compound |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0940481(B1) |
申请公布日期 |
2004.07.21 |
| 申请号 |
EP19980115624 |
申请日期 |
1998.08.19 |
| 申请人 |
SHINCRON CO., LTD. |
发明人 |
SHIGEHARU, MATSUMOTO;KAZUO, KIKUCHI |
| 分类号 |
C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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