Projektionsoptik für die Lithographie und Spiegel für eine solche

摘要

Es wird vorgeschlagen, asphärische Komponenten der Abbildungseigenschaften einer Spiegeloptik und/oder die Behebung chromatischer Fehler einer solchen Optik dadurch zu bewerkstelligen, dass man auf mindestens einem (M6) der Spiegel dieser Optik eine Zonenstruktur (16) vorsieht, die durch Beugung an konzentrischen Zonenelementen (26) im Randbereich des Spiegels eine zusätzliche asphärische bildgebende Funktion beiträgt.