| 发明名称 |
Reinraumsystem für Teileträger, insbesondere von Microsystemen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10214262(B4) |
申请公布日期 |
2004.07.15 |
| 申请号 |
DE20021014262 |
申请日期 |
2002.03.28 |
| 申请人 |
ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG |
发明人 |
HUEGLER, KLAUS |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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