| 发明名称 | 功能器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 公开了一种无裂缝并且具有优异功能特性的功能器件及其制造方法。在有机材料例如聚对苯二甲酸乙二醇酯制成的衬底(11)上，按照以下顺序形成低温软化层(12)和耐热层(13)，在其上形成多晶硅的功能层(14)。通过激光束照射使作为前体层的非晶硅层晶化，形成功能层(14)。当施加激光束时，热量传导到衬底(11)，衬底(11)发生膨胀。但是，因衬底(11)和功能层(14)之间的热膨胀系数差引起的应力被低温软化层(12)吸收，以致功能层(14)不产生裂缝和剥离。低温软化层(12)最好由含有丙烯酸树脂的聚合物材料制成。通过在衬底(11)和功能层(14)之间适当地插入金属层和耐热层，能够照射更高强度的激光束。 | ||
| 申请公布号 | CN1157764C | 申请公布日期 | 2004.07.14 |
| 申请号 | CN00802961.X | 申请日期 | 2000.11.21 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 町田晓夫;德哈拉姆·P·侯赛因;碓井节夫 |
| 分类号 | H01L21/20;H01L29/786;H01L27/04;H01L31/04 | 主分类号 | H01L21/20 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种功能器件，其中，功能层设置在衬底的多个表面的一个表面上，该功能器件包括：第一耐热层，由单层和多层中的一种构成，设置在衬底和功能层之间；低温软化层，设置在第一耐热层和衬底之间，具有低于衬底软化温度的软化温度；以及不同于第一耐热层的第二耐热层，由单层和多层中的一种构成，设置在衬底和低温软化层之间。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||