发明名称 半导体器件的测试及半导体器件制造方法
摘要 一种把模拟数据转变为用于测试集成电路的测试数据的方法,它包括检测模拟数据的状态转变的步骤,响应该转变,从模拟数据中抽取事件的步骤,及响应该事件,产生测试数据的步骤。
申请公布号 CN1157775C 申请公布日期 2004.07.14
申请号 CN99105025.8 申请日期 1999.04.23
申请人 富士通株式会社 发明人 植田刚文
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王以平
主权项 1.一种包括由从模拟数据转变来的测试数据进行的测试步骤的半导体器件制造方法,所述测试数据按照包括下述步骤的过程从所述模拟数据转变得到:检测所述模拟数据的状态转变;响应所述转变,从所述模拟数据中抽取事件;及响应所述事件,产生所述测试数据。
地址 日本神奈川