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发明名称
摘要
申请公布号
JP3542027(B2)
申请公布日期
2004.07.14
申请号
JP20000160353
申请日期
2000.05.30
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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