发明名称 REDUCTION OF DISLOCATION PILE-UP FORMATION DURING RELAXED LATTICE-MISMATCHED EPITAXY
摘要
申请公布号 AU2003302164(A1) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 AU20030302164 申请日期 2003.08.28
申请人 AMBERWAVE SYSTEMS CORPORATION 发明人 CHRISTOPHER, J VINEIS;RICHARD WESTOFF;MAYANK BULSARA
分类号 C30B23/00;C30B25/00;C30B25/02;C30B28/12;C30B28/14;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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