用于等离子体密度测量的稳定化振荡电路

摘要

一种用于控制等离子体处理系统中电子密度的系统(105)。通过把一高频脉动电压(117)和一校正电压加于压控器振荡器(101)，使开式谐振腔等离子体处理系统(105)的电子密度，能作为基于等离子体的处理的一部分，被测量并受控制。

主权项

1.一种利用由包括校正电压的反馈信号控制的压控振荡器，控制等离子体室的电路，对该电路的改进包括：高频脉动电压源，用于产生高频脉动电压；加法器，用于把高频脉动电压源加到反馈信号上，并把加法器的输出加到压控振荡器的压控输入上。