影像侦测元件与其与待测物件相对移动方向之垂直偏移度量测方法

摘要

本发明系有关于一种影像侦测元件与其与待测物件相对移动方向之垂直偏移度量测方法，主要包括以下步骤：首先以一具有NxM阵列排列之影像侦测元件对一物件取像，得一第一影像，其中该物件具有至少一明暗变化影像，且N及M为正整数；之后以一定位平台使影像侦测元件与物件相对移动一距离X，再以影像侦测元件对物件再次取像，得一第二影像；以近似曲线方程式计算第一影像之第一列画素与第二影像之第N列画素之光强度变化边界点，得第一边界点与第二边界点，且此二边界点之距离为Y；以及由X及Y计算该影像侦测元件之垂直偏移角度为tan–1(Y／X)。