对于液滴吐出喷头之机能液填充方法及其装置,以及液滴吐出装置,光电装置,光电装置之制造方法

摘要

可以有效率地排出喷头内流路之气泡，能对于液滴吐出喷头确实填充机能液。在对于液滴吐出喷头之机能液填充方法中，加压输送机能液，填充于液滴吐出喷头(20)之喷头内流路后，由液滴吐出喷头(20)的喷嘴吸引机能液。