防止钨插塞腐蚀的方法

摘要

一种在半导体元件的制程中防止钨插塞腐蚀的方法，其中在基底上已形成有钨插塞，且钨插塞系与形成在基底上的导线耦接。然后，利用除电装置处理基底，以除去在导线蚀刻制程中累积在导线表面上的电荷。之后，进行一湿式清洁步骤。