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发明名称
隔离带之洗净装置及洗净方法
摘要
本发明提供可精简装置大小且加速处理速度又可更均匀化隔离带的乾燥状态的隔离带的洗净装置以及洗净方法。本发明之洗净装置系用为洗净连续地被输送之使用过的隔离带之隔离带洗净装置,具备配置在上游侧的洗净室、配置在洗净室的下游侧的乾燥室、配置在洗净室内且对通过洗净室内的隔离带喷射洗净液于隔离带表面的洗净喷嘴、和吹走附着在洗净室内被洗净且通过乾燥室内的隔离带的表面洗净液并配设在乾燥室内的除水手段。
申请公布号
TW200410885
申请公布日期
2004.07.01
申请号
TW092135465
申请日期
2003.12.15
申请人
三井金属矿业股份有限公司;水口电装股份有限公司
发明人
三井高志;出家克则;水口千津雄
分类号
B65G45/10;H01L21/50
主分类号
B65G45/10
代理机构
代理人
周登龙
主权项
地址
日本
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